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硅加工中的表征 (美)布伦协尔 等 9787560342801

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美布伦协尔 等 著

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发表于2022-09-28

图书介绍


店铺: 书逸天下图书专营店
出版社: 哈尔滨工业大学出版社
ISBN:9787560342801
商品编码:29379404219
包装:平装
出版时间:2014-01-01


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图书描述

基本信息

书名:硅加工中的表征

定价:88.00元

作者:(美)布伦协尔 等

出版社:哈尔滨工业大学出版社

出版日期:2014-01-01

ISBN:9787560342801

字数:

页码:

版次:1

装帧:平装

开本:16开

商品重量:0.4kg

编辑推荐


内容提要


《硅加工中的表征》是材料表征原版系列丛书之一。全书共分六章,内容包括:材料表征技术在硅外延生长中的应用;多晶硅导体;硅化物;铝和铜基导线;级钨基导体;阻隔性薄膜。本书适合作为相关领域的教学、研究、技术人员以及研究生和高年级本科生的参考书。

目录


作者介绍


文摘


序言



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